イオンマイグレーションの評価と分析について

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�T.マイグレーション現象とは

  1. エレクトロマイグレーションの定義
  2. エレクトロマイグレーションとイオンマイグレーション
  3. イオンマイグレーションの種類
  4. イオンマイグレーションのメカニズム

�U.試験結果に影響を与える種々の条件

  1. 電界、温度、湿度、素材、形態
  2. 不純物

�V.試 料

  1. 電極の形状
  2. 前処理
  3. 作成後
  4. 試験開始

�W.イオンマイグレーション試験

  1. 環境試験法(Humid)
  2. 液中試験法(Wet)

�X.イオンマイグレーションの評価方法

  1. 光学的観察
  2. 絶縁抵抗値
  3. 誘電特性
  4. SEM観察
  5. 組成分析法
  6. 放射化分析
  7. 軟X線による観察
  8. AFMによる観察
  9. レーザ顕微鏡による観察 

�Y.イオンマイグレーションのメカニズム

  1. 金属の溶解
  2. イオンの移動
  3. 金属として析出

�Z.イオンマイグレーションの防止方法

  1. 封止による方法
  2. 材料による方法
  3. その他の方法

�[.むすび

 参考文献


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